Principio di funzionamento degli obiettivi di Sputtering in ceramica lavorabili e dei processi di produzione

Come materiale chiave nell'industria moderna, l'obiettivo sputtering è ampiamente utilizzato in vari campi ad alta tecnologia. La funzione principale dell'obiettivo sputtering è di trasferire gli atomee target sulla superficie del substrato attraverso il processo di sputtering per formare un film sottile. Questo film sottile ha un ruolo insostituibile nella produzione di semiconduttori, rivestimento ottico, celle solari, rivestimento decorativo e altri campi. Con il continuo miglioramento della scienza e della tecnologia, i requisiti di prestazione per gli obiettivi di sputtering sono sempre più alti e più alti e gli obiettivi di sputtering in metallo tradizionali non possono più soddisfare la domanda in alcune applicazioni. In questo momento, l'obiettivo di sputtering in ceramica lavorabile è nato.

Principio di funzionamento dell'obiettivo di Sputtering della ceramica lavorabile

Il principio di funzionamento della macchinaBersagli sputtering in ceramicaSi basa sul processo di sputtering, che è una tecnologia di deposizione fisica del vapore (PVD). Il processo di sputtering inizia in una camera a vuoto dove si forma un plasma tra l'obiettivo e il substrato mediante l'applicazione di un'elevata tensione. Gli ioni energetici nel plasma sono accelerati da un campo elettrico e colpiscono la superficie del bersaglio, facendo cadere gli atomee o le molecole dal bersaglio. Gli atomee o le molecole abbattute emigrano in un ambiente sottovuoto e alla fine vengono depositati sulla superficie del substrato per formare un film sottile uniforme.

Ci sono reazioni fisiche e chimiche in questo processo. La collisione e il trasferimento di energia tra gli ioni energetici e il bersaglio sono la reazione fisica, gli atomee target e le molecole di gas nel plasma reageranno chimicamente per formare nuovi composti. Il processo di Sputtering nella combinazione di questi due reazioni può essere formato sulla superficie del substrato con specifiche proprietà fisiche e chimiche del film.

Processo di produzione dell'obiettivo di Sputtering della ceramica lavorabile

Il processo di produzione è composto da molti passaggi. Il primo è la selezione di materie prime, la polvere ceramica ad alta purezza viene preparato mediante sintesi chimica o metodi fisici per garantire che la sua purezza e la distribuzione delle dimensioni delle particelle soddisfano i requisiti. Una volta selezionate le materie prime, la fase di preparazione inizia con la miscelazione e la macinazione delle polveri di materie prime per ottenere una distribuzione uniforme delle particelle e una dimensione delle particelle adeguata. Questo viene di solito fatto utilizzando un mulino a palle o altre apparecchiature di macinazione per garantire uniformità e lavorabilità della polvere. Avanti arriva il processo di stampaggio, uno dei passaggi chiave. I metodi di stampaggio comuni includono lo stampaggio a compressione e lo stampaggio ad iniezione. Lo stampaggio a compressione richiede la pressatura della polvere di ceramica ad alta pressione per realizzare uno spazio vuoto della forma richiesta, mentre lo stampaggio a iniezione richiede la miscelazione della polvere di ceramica con un legante e la formatura attraverso uno stampo ad iniezione. Entrambi i metodi hanno i loro vantaggi e svantaggi e la scelta dipende dalla forma e dai requisiti di prestazione del prodotto. Il processo di sinterizzazione è il vuoto modellato sinterizzato ad alte temperature per rendere denso e ottenere le proprietà meccaniche e fisiche richieste. Il controllo della temperatura e del tempo di sinterizzazione è critico e viene di solito utilizzato in un forno ad alta temperatura per garantire la densificazione e l'uniformità del materiale ceramico. Alla fine, c' è la fase di post-elaborazione, che include l'elaborazione meccanica e il trattamento superficiale. La lavorazione meccanica è la lavorazione di precisione dell'obiettivo ceramico sinterizzato per ottenere le dimensioni e la forma richieste. Il trattamento superficiale, invece, è lucidare e rivestire la superficie del bersaglio per migliorare la qualità della superficie e l'usabilità.